紫外臭氧清洗過程提供一種簡單，經(jīng)濟，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機污染物。特是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦。 ???? 紫外臭氧清洗可以去除：皮膚油脂，有機硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。 ???? 怎樣說是“超”潔凈？接觸角測量方法4－5度。適用AES和ESCA測量細(xì)微的峰值。使用蒸汽測試，在冷凝和蒸發(fā)時形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關(guān)鍵表面認(rèn)為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統(tǒng)清洗工序后加入紫外清洗的應(yīng)用，產(chǎn)品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價值。 ??? 紫外臭氧清洗工作原理：UVOCS清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫下發(fā)生，并且只需要1到幾分鐘完成。?? 臭氧清洗機真可謂是實驗室的“超能”，如果能應(yīng)用到日常生活，普及推廣的話，將會使我們的生活更潔凈。